Studium a úprava povrchů elektronovým mikroskopem /
Práce se zabývá přípravou elektronických součástek fokuzovaným iontovým svazkem v elektronovém mikroskopu Quanta 3D 200i.
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2017
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/437212/prif_b/ |
| Shrnutí: | Práce se zabývá přípravou elektronických součástek fokuzovaným iontovým svazkem v elektronovém mikroskopu Quanta 3D 200i. This thesis deals with preparation of electronic devices using focused ion beam of electron microscope Quanta 3D 200i. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Petr Mikulík |
| Fyzický popis: | 47 listů |