Radio-frequency capacitive discharges /
Uloženo v:
| Hlavní autoři: | , , |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
Boca Raton, [Fla.] ; London :
CRC Press,
c1995
|
| Témata: |
| Fyzický popis: | xii, 292 s. |
|---|---|
| Bibliografie: | Obsahuje bibliografii (s. 271-289) a rejstřík |
| ISBN: | 0-8493-8644-6 |