Methods for quantification of detection channel for secondary electrons in scanning electron microscope
Vlastnosti detekční trasy Everhart-Thornleyho detektoru používaného pro detekci sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu byly charakterizovány pomocí různých metod pro kvantifikaci signálu. Tyto metody byly aplikovány na signál přenášený v různých částech detekční trasy testovaný...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
2011
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/42339/prif_d_b1/ |
| Shrnutí: | Vlastnosti detekční trasy Everhart-Thornleyho detektoru používaného pro detekci sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu byly charakterizovány pomocí různých metod pro kvantifikaci signálu. Tyto metody byly aplikovány na signál přenášený v různých částech detekční trasy testovaných detektorů. Statistická data získaná při testování těchto metod poskytla ucelené informace o nejdůležitějších procesech podílejících se na přenosu signálu detektorem. Na základě těchto dat byl sestaven statistický a numerický model popisující přenos signálu detektorem. Properties of the detection channel of the Everhart-Thornley detector, used for the detection of secondary electrons in the scanning electron microscope, were characterized by means of several methods for signal quantification. Statistical data resulting from the application of these methods to the signal in individual blocks of the detection channel provided comprehensive information about the processes involved in signal formation inside the detector. On the basis of the acquired experimental data, a statistical and a numerical model of signal transport in the detector was created. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Ilona Müllerová |
| Fyzický popis: | 1 CD-ROM |