Lecture notes on principles of plasma processing
Uloženo v:
| Hlavní autoři: | , |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
New York, N.Y. :
Kluwer Academic/Plenum publishers,
c2003
|
| Témata: |
| Fyzický popis: | 1 CD-ROM |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Požadavky na systém: Win98 or later, Adobe Acrobat or Acrobat Reader, CD-ROM mechanika |