Physics of radio-frequency plasmas /
Uloženo v:
Hlavní autoři: | , |
---|---|
Typ dokumentu: | Kniha |
Jazyk: | Angličtina |
Vydáno: |
Cambridge ; New York, N.Y. :
Cambridge University Press,
2011
|
Vydání: | 1st pub. |
Témata: |
Fyzický popis: | viii, 385 s. : il., grafy |
---|---|
Bibliografie: | Obsahuje bibliografii a rejstřík |
ISBN: | 978-0-521-76300-4 |