Reflexní spektroskopie struktur SOI

Cílem této bakalářské práce je studium a charakterizace relevantních parametrů SOI waferů užitím reflexní spektroskopie v infračerveném spektrálním oboru. Měření v NIR-VIS-UV spektrální oblasti budou prováděna na vláknových spektrometrech a měření v MIR spektrální oblasti na infračerveném fourierovs...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Šmejkal, Libor (Autor práce)
Další autoři: Humlíček, Josef, 1947- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2011
Témata:
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/324167/prif_b/
Obálka
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis Stav Knihovna Sbírka Signatura Poznámky Čárový kód
Dostupné
Prezenční SKLAD
Přírodovědecká fakulta ÚK sklad - F K-12687 3145352478