Vytváření strukturovaných tenkých vrstev plazmovými tryskami
Tato práce je zaměřena na vytváření tenkých strukturovaných vrstev za použití technologie plazmové tužky a zkoumá vliv depozičních parametrů na jejich utváření. Pro tento účel byl aplikován prekurzor dusičnanu zirkonylu. V teoretické části této práce je popsán princip generování plazmatu pomocí plaz...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Další autoři: | |
Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
Jazyk: | Čeština |
Vydáno: |
2010
|
Témata: | |
On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/269561/prif_b/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
---|---|---|---|---|---|---|
Dostupné Prezenční |
Knihovna univerzitního kampusu | KUK - sklad | PřF-2010-K-8827 | 3285005519 |