Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications /
Uloženo v:
| Další autoři: | |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
Norwich, N.Y. :
Noyes Publications,
c2002
|
| Vydání: | 2nd ed. |
| Edice: | Materials science and process technology series
|
| Témata: |
| Fyzický popis: | xxviii, 629 s. : il. |
|---|---|
| Bibliografie: | Obsahuje bibliografie a rejstřík. |
| ISBN: | 0-8155-1442-5 |