Behaviour of hybrid PVD-PECVD process
Tato práce je věnována studiu reaktivního magnetronového naprašování pomocí experimentálních diagnostických metod a také pomocí teoretického modelování. Popsány jsou fyzikální principy rozprašování a základní metody diagnostiky. Za účelem pochopení nehomogenity rozprašování a transportu rozprášených...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
2009.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/151253/prif_m/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dostupné Prezenční SKLAD |
Přírodovědecká fakulta | ÚK sklad | K-9444 | 3145345929 |