Plasma-aided nanofabrication : from plasma sources to nanoassembly /
Uloženo v:
Hlavní autoři: | , |
---|---|
Typ dokumentu: | Kniha |
Jazyk: | Angličtina |
Vydáno: |
Weinheim :
Wiley-VCH,
c2007.
|
Témata: |
Fyzický popis: | xiii, 300 : il. |
---|---|
Bibliografie: | Obsahuje bibliografie a rejstřík. |
ISBN: | 978-3-527-40633-3 |