Depozice uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném plazmovém hořáku
Byla studována syntéza uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném plazmovém hořáku za atmosférického tlaku. Depozice probíhaly ve směsi argonu, vodíku a metanu na vrstveném substrátu Si/SiO2/Fe. Tloušťka Fe katalyzátoru byla 5 a 10 nm. Rastrovací elektronová mikroskopie odhalila přítomnost různě husté vrst...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2006.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/53415/prif_b/ |
| Shrnutí: | Byla studována syntéza uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném plazmovém hořáku za atmosférického tlaku. Depozice probíhaly ve směsi argonu, vodíku a metanu na vrstveném substrátu Si/SiO2/Fe. Tloušťka Fe katalyzátoru byla 5 a 10 nm. Rastrovací elektronová mikroskopie odhalila přítomnost různě husté vrstvy mnohostěnných nanotrubek s průměrem 6 až 84 nm. Pozorovány byly nanotrubky vzniklé vrcholovým růstem předpokládaným pro PECVD, kde velikost částic je přibližně stejná jako poloměr nanotrubek. Nicméně na některých místech depozitu byly nanotrubky mnohem tenčí, než katalytické částice. Tloušťka a struktura depozitu nebyla jednotná. Průměr nanotrubek se snižoval s rostoucí depoziční teplotou a snižující se tloušťkou vrstvy katalyzátoru. Byla studována první fáze depozice, při které se substrát prudce zahřeje a dojde k rozrušení vrstvy katalyzátoru na mikročástice. Vyšší obsah vodíku v depoziční směsi pak vede ke snížení velikosti mikročástic. The microwave plasma torch at atmospheric pressure has been studied for carbon nanotube synthesis. The depositions were carried out on silicon substrates with silicon oxide and thin iron catalytic overlayers from the mixture of argon, hydrogen and methane. Thickness of metal catalyst layer was 5 and 10 nm. Scanning electron micrographs revealed multi walled nanotubes with the diameters ranging from 6 to 84 nm. The nanotubes growth conformed to the tip growth model suggested for PECVD with the size of catalytic microparticles was similar as the diameter of nanotubes. However on some places of the deposit, nanotubes were much thiner than the catalytic particles. The thickness and structure of deposit were not uniform. The diameter of nanotubes decreased with increasing deposition temperature and decreasing thickness of catalytic layer. The first phase of deposition, in which the temperature abruptly increases and the continuous thin catalytic layer breaks into microparticles, was studied. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Lenka Zajíčková. |
| Fyzický popis: | 41 l. |
| Bibliografie: | Bibliografie na s. 39-41. |