Popis: Plazmochemická depozice DLC vrstev s příměsí křemíku

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Brzobohatý, Oto (*ap)
Typ dokumentu:	VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:	Čeština
Vydáno:	2001.
Témata:	depozice tenkých vrstev chemie plazmatu tenké vrstvy plasma chemistry thin film deposition thin films ročníkové práce seminar theses

Popis
Popis jednotky:	Ročníková práce--Přírodovědecká fakulta MU, 2001.
Fyzický popis:	38 l.