Plasma deposition of amorphous silicon-based materials /
Uloženo v:
| Další autoři: | , , |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
Boston :
Academic Press,
c1995.
|
| Edice: | Plasma-materials interactions
|
| Témata: |
| Fyzický popis: | xi, 324 s. |
|---|---|
| ISBN: | 0-12-137940-X |