Popis: Optická a mikrovlnná diagnostika reaktivního plazmatu

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Doležal, Vojtěch (Autor práce)
Typ dokumentu:	VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:	Čeština
Vydáno:	2003
Témata:	depozice tenkých vrstev fyzika plazmatu plazma (fyzika) plasma (ionized gases) plasma physics thin film deposition diplomové práce master's theses

Popis
Fyzický popis:	73 l.