Optická a hmotová diagnostika plasmatu v technologii polovodičových struktur

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Konečný, Zdeněk, 1954- (Autor práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 1979.
Témata:
rigorózní práce
Obálka
Popis
Fyzický popis:48 l., 29 l. obr. příl.

Podobné jednotky