Lecture notes on principles of plasma processing /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autoři: Chen, Francis F., 1929- (Autor), Chang, Jane P., 1970- (Autor)
Typ dokumentu: Kniha
Jazyk:Angličtina
Vydáno: New York, N.Y. : Kluwer Academic/Plenum publishers, c2003
Témata:
Popis
Fyzický popis:ix, 208 s. : il.
ISBN:0-306-47497-2
978-0-306-47497-2