Popis: Komplexní charakterizace vrstev připravených metodou PECVD

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Valtr, Miroslav, 1979- (*ap)
Korporativní autor:	Masarykova univerzita. Přírodovědecká fakulta (*ip)
Typ dokumentu:	VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:	Čeština
Vydáno:	2001.
Témata:	plazma (fyzika) tenké vrstvy plasma (ionized gases) thin films ročníkové práce seminar theses

Popis
Popis jednotky:	Ročníková práce--Přírodovědecká fakulta MU, 2001.
Fyzický popis:	35 l.