Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment and applications /
Uloženo v:
| Další autoři: | |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
Park Ridge :
Noyes publications,
1988.
|
| Edice: | Materials science and process technology series
|
| Témata: |
| Fyzický popis: | 413 s. |
|---|---|
| ISBN: | 0-8155-1153-1 |