Handbook of advanced plasma processing techniques /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Shul, Randy J. (Autor)
Další autoři: Pearton, Stephen, 1957-
Typ dokumentu: Kniha
Jazyk:Angličtina
Vydáno: Berlin : Springer-Verlag, c2000.
Témata:
Popis
Popis jednotky:Obsahuje rejstřík.
Fyzický popis:xiv, 653 s.
ISBN:3-540-66772-5