Glow discharge processes : sputering and plasma etching /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Chapman, Brian (Autor)
Typ dokumentu: Kniha
Jazyk:Angličtina
Vydáno: New York : John Wiley & Sons, 1980
Témata:
Popis
Fyzický popis:405 s.
ISBN:0-471-07828-X