Fundamental electron interactions with plasma processing gases /
Uloženo v:
| Hlavní autoři: | , |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
New York :
Kluwer Academic/Plenum Publishers,
c2004.
|
| Edice: | Physics of atoms and molecules
|
| Témata: |
| Fyzický popis: | xii, 776 s. |
|---|---|
| Bibliografie: | Obsahuje bibliografie. |
| ISBN: | 0-306-48037-9 |