Rtg difrakční analýza oxidových vrstev - Číž, Tomáš; Caha, Ondřej, 1979-; Masarykova univerzita. Ústav fyziky kondenzovaných látek (2018)
Předložená práce se zabývá studiem vlastností oxidů (La,Sr)CoO₃ a YBCO deponovaných na substrátech LAO a LSAT. K určení těchto vlastností byly využity dvě rozdílné metody rentgenové strukturní analýzy. První z nich je reflexe rentgenového záření, pomocí níž jsme schopni určit především tloušťku tenké vrstvy, hustotu obou krystalů a drsnost jejich rozhraní. Metoda spočívá v analýze rentgenové reflexní křivky a jejím srovnáním s numerickou simulací. Druhá z metod se jmenuje mapování reciprokého prostoru a využívá principu rentgenové difrakce. Slouží k určení mřížových parametrů krystalů, ze kterých je dopočítáno také mechanické napětí v tenké vrstvě. Práce obsahuje jak popis obou metod, tak také komentované výsledky měření pro jednotlivé zkoumané vzorky.
This thesis deals with the study of the structure of oxides (La,Sr)CoO₃ and YBCO deposited on the substrates LAO and LSAT. Two different methods of x-ray structural analysis were used to determine these properties. One of these is x-ray reflectivity, which is used to determine the thickness of the thin film, the density of both crystals and the roughness of the interfaces. The method consists of analyzing the x-ray reflectivity curve and its comparison with numerical simulation. The second method is called reciprocal space mapping and uses the principle of x-ray diffraction. It is used to determine the lattice parameters of the crystals, which also calculate the mechanical strain in the thin layer. The work contains a description of both methods as well as commented results of measurement of the individual samples examined.
Vedoucí práce: Ondřej Caha
Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, 1471, 2018
Keywords: depozice tenkých vrstev; tenké vrstvy; thin film deposition; thin films; bakalářské práce; bachelor's theses