Optická charakterizace WBC vrstev /
Předmětem této bakalářské práce bylo zkoumání tenkých wolfram bór karbidových vrstev deponovaných na křemíkových waferech. Hlavním úkolem bylo určit lineární dielektrickou odezvu těchto vrstev v širokém spektrálním rozsahu a porovnat vzorky různého složení. Lineární dielektrická odezva byla určena p...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
2018
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/zsdo9/ |
| LEADER | 04611ctm a22007097i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01006421273 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20200718203246.0 | ||
| 008 | 180627s2018 xr ||||| |||||||||||eng d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2018-10-15 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)311345 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 |e rda | ||
| 072 | 7 | |a 539 |x Fyzikální stavba hmoty. Jaderná fyzika. Molekulární fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 539.216 |2 MRF | ||
| 080 | |a (043)378.22 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Rychnovský, Lukáš |% UČO 451374 |* [absolvent PřírF MU, fyzika] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Optical characterization of WBC films |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Optická charakterizace WBC vrstev / |c Lukáš Rychnovský |
| 264 | 0 | |c 2018 | |
| 300 | |a 36 stran | ||
| 336 | |a text |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |a bez média |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |a svazek |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Daniel Franta | ||
| 502 | |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2018 | ||
| 520 | 2 | |a Předmětem této bakalářské práce bylo zkoumání tenkých wolfram bór karbidových vrstev deponovaných na křemíkových waferech. Hlavním úkolem bylo určit lineární dielektrickou odezvu těchto vrstev v širokém spektrálním rozsahu a porovnat vzorky různého složení. Lineární dielektrická odezva byla určena pomocí programu newAD2 z dat odrazivosti od vzdálené infračervené po vzdálenou ultrafialovou oblast a elipsometrie ve spektrálním rozsahu od blízké infračervené po vzdálenou ultrafialovou oblast. Pro ověření drsnosti některých vzorků byla použita metoda mikroskopie atomárních sil (AFM). Pomocí parametrů Drudeho členu byly určeny hodnoty statické vodivost jednotlivých vzorků, které byly porovnány s hodnotami statické vodivosti získaných pomocí čtyřbodové metody. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a The subject of this bachelor thesis was measuring and analysing data for tungsten boron carbide thin films deposited on silicon wafers. The main objective was to determine the linear dielectric response of these films in the wide spectral range and to compare the samples with different chemical composition. The linear dielectric response was obtained using newAD2 software from reflectometric data measured from the far infrared to the far ultraviolet spectral range and ellipsometric data measured from the near infrared to the far ultraviolet spectral range. The roughness of some samples was measured using atomic force microscopy. Static conductivity for all of the samples were determined using the dispersion parameters of the Drude term. These values were compared with static conductivity obtained from four-terminal sensing. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a tenké vrstvy |7 ph126536 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin films |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a bakalářské práce |7 fd132403 |2 czenas | |
| 655 | 9 | |a bachelor's theses |2 eczenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika se zaměřením na vzdělávání |c PřF B-FY UF, FI:IO (UF) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Franta, Daniel, |d 1970- |7 mub2013761996 |% UČO 2000 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Ústav fyzikální elektroniky |7 xx0116219 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/zsdo9/ |
| CAT | |c 20180627 |l MUB01 |h 0421 | ||
| CAT | |a RACLAVSKA |b 02 |c 20180702 |l MUB01 |h 1527 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180918 |l MUB01 |h 1318 | ||
| CAT | |a JANA |b 02 |c 20181008 |l MUB01 |h 0925 | ||
| CAT | |c 20181015 |l MUB01 |h 1013 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190107 |l MUB01 |h 0117 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190522 |l MUB01 |h 0749 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20191211 |l MUB01 |h 1019 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20200323 |l MUB01 |h 2340 | ||
| CAT | |a FUKSOVAX |b 02 |c 20200718 |l MUB01 |h 2032 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201101 |l MUB01 |h 0054 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201126 |l MUB01 |h 0114 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2357 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2359 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210219 |l MUB01 |h 0000 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1029 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 2015 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1303 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221014 |l MUB01 |h 1924 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221014 |l MUB01 |h 1925 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2144 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2018-10-15 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRVFY |b ÚK volný výběr - F |3 K-F-2018-RYCH |5 3145373206 |8 20180702 |f 70 |f Prezenční |r 20180620 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK volný výběr - F |d K-F-2018-RYCH |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRVFY | ||