In-situ studium vnitřního pnutí vrstev připravených pomocí magnetronového naprašování - Tulisová, Nikola (2017)
Tato diplomová práce se věnuje in-situ měření pnutí v tenkých vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním. Pro toto měření byl použit vícesvazkový optický senzor na měření pnutí (Multibeam optical stress senzor - MOSS). Hlavním cílem bylo propojit teoretické mechismy popisující produkci pnutí s nameřeným vývojem pnutí. Byly deponované jednoduché kovy a to molybdén, tantal, wolfram a měď. Taky byl deponovaný nanolaminát W-B-C. Byl zkoumaný vliv povrchu substrátu, struktury tenké vrstvy, energie dopadajících částic a vliv teploty substrátu.