Plazmochemická příprava ternárních vrstev karbidů a jejich charakterizace - Daniel, Josef (2017)
Předkládaná práce je zaměřena na výzkum možností řídit strukturu a fázové složení nanokompozitních nc-TiC/a-C:H vrstev za účelem optimalizace jejich mechanických vlastností. Vrstvy, o kterých tato práce pojednává, byly připraveny hybridním PVD-PECVD procesem odprašování kovového terče v atmosféře ze směsi argonu a acetylenu. Jedním z parametrů, který během růstu nanokompozitní vrstvy ovlivňuje její strukturu je energie částic, dopadajících na její povrch. Pro výzkum vlivu tohoto parametru byly připraveny dvě série vrstev - jedna nad racetrackem terče a druhá nad středem terče. Vlivem odlišných toků iontů a odlišných depozičních rychlostí byly pozorovány rozdíly ve struktuře a mechanických vlastnostech vrstev připravených v obou polohách. Kvůli zjištení vlivu odlišných toků iontů na strukturu vrstvy byly použity ruzné metody buzení plazmatu. Behem stejnosměrného magnetronového naprašování (DCMS) je výkon na terč dodáván kontinuálně.