Plazmochemická příprava ternárních vrstev karbidů a jejich charakterizace /
Předkládaná práce je zaměřena na výzkum možností řídit strukturu a fázové složení nanokompozitních nc-TiC/a-C:H vrstev za účelem optimalizace jejich mechanických vlastností. Vrstvy, o kterých tato práce pojednává, byly připraveny hybridním PVD-PECVD procesem odprašování kovového terče v atmosféře ze...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2017
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/269028/prif_d/ |
| Shrnutí: | Předkládaná práce je zaměřena na výzkum možností řídit strukturu a fázové složení nanokompozitních nc-TiC/a-C:H vrstev za účelem optimalizace jejich mechanických vlastností. Vrstvy, o kterých tato práce pojednává, byly připraveny hybridním PVD-PECVD procesem odprašování kovového terče v atmosféře ze směsi argonu a acetylenu. Jedním z parametrů, který během růstu nanokompozitní vrstvy ovlivňuje její strukturu je energie částic, dopadajících na její povrch. Pro výzkum vlivu tohoto parametru byly připraveny dvě série vrstev - jedna nad racetrackem terče a druhá nad středem terče. Vlivem odlišných toků iontů a odlišných depozičních rychlostí byly pozorovány rozdíly ve struktuře a mechanických vlastnostech vrstev připravených v obou polohách. Kvůli zjištení vlivu odlišných toků iontů na strukturu vrstvy byly použity ruzné metody buzení plazmatu. Behem stejnosměrného magnetronového naprašování (DCMS) je výkon na terč dodáván kontinuálně. This work is focused on the research of the possible ways to design the structure as well as the phase composition of the nanocomposite nc-TiC/a-C:H coatings in order to improve their mechanical properties. All of the presented coatings were prepared by hybrid PVDPECVD process of sputtering of a metal target in argon/acetylene atmosphere. Energy of impacting particles is parameter which can affect structure of the coating during its growth. For investigation of this parameter and its influence on the coatings structure as well as the mechanical properties a two series of coatings were prepared. One of them was prepared above the center of the target and second one was prepared in the different position - above the target racetrack. A changes in coatings structure and mechanical properties were observed due to the different particle flux and deposition rates in different substrate positions. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Petr Vašina |
| Fyzický popis: | 139 stran |