Vývoj průmyslové technologie přípravy diamantu podobných vrstev - Kroker, Michael (2016)
Tato práce je zaměřena na vývoj průmyslové technologie výroby diamantu podobných uhlíkových vrstev. Cílem je připravit tenké DLC vstvy typu ta-C na průmyslovém povlakovacím zařízení. Vrstvy jsou připraveny odprašováním uhlíkového terče v magnetronové konfiguraci za sníženého tlaku v Ar/CO/CO₂ atmosféře. Je popsán vliv depozičních parametrů na podíl sp vázaných uhlíkových atomů ve struktuře vrstvy. Podíl sp³ vazeb je určen pomocí Ramanovy spektroskopie. Je sledován vliv depozičního tlaku, teploty, předpětí vzorků, směsi plynů a vliv režimu buzení magnetronového plazmatu. Je využit stejnosměrný režim a pulzní DC režim. Tloušťka je určena metodou spektrofotometrie a prvkové složení metodou EDX. Při optimálních parametrech byla připravena amorfní uhlíková vrstva obsahující přibližně 20 % sp³ vazeb. Metoda EDX ukázala zakomponovaný kyslík ve struktuře vrstvy. Ve výsledku byly připraveny DLC vrstvy typu a-C(:O).