Plasma Enhanced CVD of Multicomponent Functional Coatings - Muresan, Mihai George (2015)
Práce je věnována studiu depozice tenkých vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). Zkoumány byly dva druhy vrstev: diamantu podobné (DLC) vrstvy a SiOₓ vrstvy. Cílem bylo připravit tvrdé ochranné vrstvy s nízkým otěrem, nízkým koeficientem tření a s dobrou přilnavostí k ocelovému substrátu. DLC vrstvy byly na ocelový substrát připraveny jednak úpravou DLC struktur přidáním dusíku jednak použitím mezivrstvy. DLC vrstvy byly připraveny ve směsích metanu nebo cyklohexanu s vodíkem nebo argonem a optimalizací depozičních parametrů (výkon, tlak, průtok, atd.) k získání tvrdých, kompaktních vrstev s nízkým pnutím. SiOₓ vrstvy, použité jako mezivrstva pro DLC vrstvy na oceli, byly připraveny ze směsi hexamethyldisiloxanu (HMDSO) a O₂. Tyto mezivrstvy měly dobré vlastnosti pro velké zátěže, byly relativně tvrdé a měly nízký podíl uhlíku. U takto připravených vrstev bylo zkoumáno jejich chemické složení, struktura, optické a mechanické vlastnosti.