Studium mechanismu plazmové polymerace - Michlíček, Miroslav; Zajíčková, Lenka, 1971-; Masarykova univerzita. Ústav fyzikální elektroniky (2015)
Tato práce se zabývá plazmovou polymerací, tedy depozicí tenkých organických vrstev metodou PECVD. Takto vytvořené vrstvy mohou mít v závislosti na depozičních podmínkách širokou škálu vlastností, od měkkých, hydrofilních vrstev až po tvrdé, nerozpustné a superhydrofobní vrstvy. Mechanismus plazmové polymerace je však velmi komplexní, což komplikuje nalezení vhodných depozičních podmínek pro přípravu vrstev s požadovanými vlastnostmi. V práci se rozsáhle diskutuje přístup makroskopického popisu (makroskopické kinetiky) plazmové polymerace a je dále zkoumán na dvou modelových směsích plynů C₂H₃/CO₂ a C₂H₄/NH₃ v radiofrekvenčním (13,56 MHz) kapacitně vázaném výboji. Plazma jsou zkoumána diagnostickými metodami, jmenovitě napěťovou sondou, MWI, OES a RFEA sondou. Změřené parametry plazmatu jsou korelovány s vlastnostmi výsledných vrstev, charakterizovaných metodami XPS, FTIR a měřením kontaktního úhlu s vodou.
This thesis deals with the plasma polymerization, i.e. deposition of thin organic coatings by means of PECVD. Depending on the deposition conditions, the coatings exhibit a wide variety of properties, from soft and hydrophilic to hard, insoluble and superhydrophobic. Mechanism of the plasma polymerization is however very complex, which complicates finding of the right conditions for preparation of a thin film with desired properties. The approach of macroscopic description (the macroscopic kinetics) of plasma polymerization is extensively discussed in this work and further studied on two model gas mixtures C₂H₄/CO₂ a C₂H₄/NH₃ in a radio-frequency (13.56 MHz) capacitively coupled plasma. The plasmas are investigated by V/I probe, MWI, OES and RFEA probe. The internal plasma parameters are correlated with properties of the resulting thin films characterized by XPS, FTIR and measurement of water contact angle.
Vedoucí práce: Lenka Zajíčková
Diplomová práce (Mgr.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2015
Keywords: depozice tenkých vrstev; plazmová polymerizace; tenké vrstvy; plasma polymerization; thin film deposition; thin films; diplomové práce; master's theses