Studium mechanismu plazmové polymerace - Michlíček, Miroslav (2015)
Tato práce se zabývá plazmovou polymerací, tedy depozicí tenkých organických vrstev metodou PECVD. Takto vytvořené vrstvy mohou mít v závislosti na depozičních podmínkách širokou škálu vlastností, od měkkých, hydrofilních vrstev až po tvrdé, nerozpustné a superhydrofobní vrstvy. Mechanismus plazmové polymerace je však velmi komplexní, což komplikuje nalezení vhodných depozičních podmínek pro přípravu vrstev s požadovanými vlastnostmi. V práci se rozsáhle diskutuje přístup makroskopického popisu (makroskopické kinetiky) plazmové polymerace a je dále zkoumán na dvou modelových směsích plynů C₂H₃/CO₂ a C₂H₄/NH₃ v radiofrekvenčním (13,56 MHz) kapacitně vázaném výboji. Plazma jsou zkoumána diagnostickými metodami, jmenovitě napěťovou sondou, MWI, OES a RFEA sondou. Změřené parametry plazmatu jsou korelovány s vlastnostmi výsledných vrstev, charakterizovaných metodami XPS, FTIR a měřením kontaktního úhlu s vodou.