Časově rozlišená spektroskopie HIPIMS výboje - Fekete, Matej (2015)
Táto diplomová práca sa zaoberá diagnostikou HiPIMS výboja. Sú tu popísané fyzikálne princípy magnetrónového naprašovania, výhody a nevýhody HiPIMS oproti DC naprašovaniu a diagnostické metódy vhodné na skúmanie HiPIMS výboja. V rámci práce bola rozvinutá metóda založená na efektívnych vetviacich pomeroch, pomocou ktorej je možné z relatívnych intenzít vybraných emisných čiar atómu a iónu titánu určiť absolútne koncentrácie rozprášených častíc titánu na základných energetických hladinách. Táto diagnostická metóda bola použitá pri zisťovaní koncentrácie rozprášeného titánu v DC naprašovaní pri rôznych parametroch výboja a pri určovaní vývoja koncentrácie rozprášených atómov a iónov titánu v priebehu i po skončení HiPIMS pulzu.