Studium tenkých vrstev a povrchů optickými spektroskopickými metodami - Ondračka, Pavel (2013)
Tato diplomová práce se věnuje zkoumání tenkých DLC vrstev deponovaných plazmochemickou metodou PECVD pomocí optických diagnostických metod (UV/VIS odrazivost, UV/VIS elipsometrie a IR propustnost) a iontových metod RBS a ERDA. V rámci této práce je rozšířen stávající model dielektrické odezvy DLC materiálů, především co se týče absorpce vibračních stavů uhlovodíkových skupin. Optická data čtyř vybraných vrstev byla fitována multisample metodou a byly určeny relativní síly přechodu pro valenční vibrace jednotlivých uhlovodíkových skupin s využitím vodíkových koncentrací měřených metodou ERDA pro kalibraci. Získané hodnoty byly poté úspěšně použity pro analýzu koncentrace vodíku dalších čtyř vrstev. Tímto bylo demonstrováno, že optická diagnostika může dobře sloužit k určování koncentrace vodíku DLC vrstev buď samostatně nebo jako kontrola iontových metod.