Preparation of nanostructured carbon films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition - Stoica, Adrian, 1981-; Buršíková, Vilma, 1960-; Masarykova univerzita. Ústav fyzikální elektroniky (2013)
Téma předkládané disertační práce je zaměřeno na přípravu a charakterizaci nanostrukturovaných modifikovaných diamantu podobných uhlíkových tenkých vrstev, připravených za nízkého tlaku metodou plazmatem urychlené chemické depozice z plynné fáze. Nejprve byl studován vliv dopování deuteriem na optické a mechanické vlastnosti hydrogenovaných uhlíkových vrstev. Optická emisní spektroskopie byla použita k získání informací o procesech probíhajících se ve výbojích ve směsích metanu s deuteriem. Práce se zaměřuje na vliv dalších typů příměsí, byly rovněž studovány diamantu podobné vrstvy obsahující křemík a kyslík a/nebo dusík. Tyto vrstvy byly deponovány ze směsí plynů CH4, HMDSO (hexametyldisiloxan), HMDSZ (hexametyldisilazan), H2, a N2 jakožto ochranné povlaky na polymerních substrátech jako polyfenylsulfid a skleněnými vlákny zesílený polyester. Složením směsí plynů bylo možné měnit strukturu a chemické složení vrstev ve velmi širokém rozsahu.
The topic of the present dissertation thesis is focused on the preparation and characterization of nanostructured modified diamond-like carbon thin films, prepared by low pressure radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition. First, the effect of deuterium addition on the mechanical and optical properties of hydrogenated amorphous carbon films was studied. A basic optical emission spectroscopy study was used as a "fingerprint" process in the deuterium containing plasma to examine the emitting species in the discharges. Second, diamond-like carbon films containing silicon, oxygen and/or nitrogen, were deposited as protective coatings on polymers substrates such as polyphenylene sulphide and glass fiber reinforced polyethylene from gas mixtures of CH4, HMDSO (hexamethyldisiloxane), HMDSZ (hexamethydisilazane), H2, and N2. Gas composition was changed in order to vary the content of doping elements in the films.
Vedoucí práce: Vilma Buršíková
Dizertace (Ph.D.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2013
Keywords: depozice tenkých vrstev; mechanické vlastnosti materiálů; uhlíkové vrstvy; carbon films; mechanical properties of materials; thin film deposition; disertace; dissertations