Preparation of nanostructured carbon films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition - Stoica, Adrian, 1981- (2013)
Téma předkládané disertační práce je zaměřeno na přípravu a charakterizaci nanostrukturovaných modifikovaných diamantu podobných uhlíkových tenkých vrstev, připravených za nízkého tlaku metodou plazmatem urychlené chemické depozice z plynné fáze. Nejprve byl studován vliv dopování deuteriem na optické a mechanické vlastnosti hydrogenovaných uhlíkových vrstev. Optická emisní spektroskopie byla použita k získání informací o procesech probíhajících se ve výbojích ve směsích metanu s deuteriem. Práce se zaměřuje na vliv dalších typů příměsí, byly rovněž studovány diamantu podobné vrstvy obsahující křemík a kyslík a/nebo dusík. Tyto vrstvy byly deponovány ze směsí plynů CH4, HMDSO (hexametyldisiloxan), HMDSZ (hexametyldisilazan), H2, a N2 jakožto ochranné povlaky na polymerních substrátech jako polyfenylsulfid a skleněnými vlákny zesílený polyester. Složením směsí plynů bylo možné měnit strukturu a chemické složení vrstev ve velmi širokém rozsahu.