Vývoj multifunkčních ochranných vrstev pro polykarbonátové substráty - Čupera, Jan, 1987- (2012)
Tato práce se zabývá vývojem multifunkčních ochranných vrstev na polykarbonátové substráty metodou PECVD ze směsi hexametyldisiloxanu (HMDSO) a kyslíku v nízkoteplotním kapacitně vázaném doutnavém výboji. Cílem je vyvinout SiO2 podobné a/nebo organosilikonové vrstvy, které by sloužily jako ochrana polykarbonátových substrátů proti mechanickému opotřebení a degradací ultrafialovým světlem. Vrstvy byly deponovány v radiofrekvenčním (13,56 MHz) výboji při výkonech 50 W a 75 W ve směsi HMDSO/O2, která obsahovala 7-32 % HMDSO. K charakterizaci vrstev bylo použito měření materiálových parametrů metodou DSI, určení volné povrchové energie, optické vlastnosti se zjišťovaly za pomoci spektroskopické reflektometrie a chemické složení vrstev bylo stanoveno metodou RBS a ERDA. Na těchto vrstvách byl sledován vliv koncentrace HMDSO a parametrů výboje na vlastnosti připravovaných vrstev.