Studium strukturních vlastností supermřížek pomocí rtg reflexe - Rozbořil, Jakub, 1990- (2012)
Předložená práce se zabývá studiem kompletní struktury, tj. stanovením tlouštěk, počtu vrstev a drsností rozhraní ve vzorcích multivrstev, pomocí rentgenové reflexe. Metoda spočívá v analýze rtg reflexní křivky a jejím srovnání se simulacemi. Zkoumány byly dva polovodičové vzorky, u kterých byla experimentálně stanovená struktura srovnána s nominální strukturou, a dva vzorky rtg zrcadel, jejichž strukturní analýza byla provedena pomocí dvou rtg aparatur. Na jedné aparatuře byla provedena měření ve větším rozsahu úhlu dopadu a na druhé aparatuře ve vyšším rozlišení. Výsledky měření z jednotlivých aparatur pak byly srovnány a diskutovány.