Study of radio frequency low pressure glow discharges - Šmíd, Radek, 1980- (2010)
Předmětem předkládané práce je studium vysokofrekvenčích (vf) doutnavých výbojů využívaných pro plazmatem zesílenou depozici z plyné fáze (PECVD) v induktivním a kapacitním výboji v kyslíku a hexametyldisiloxanu (HMDSO). Pro studium vlivu průtoku kyslíku a HMDSO, tlaku plynů, směsi plynů a vf výkonu byla využita Langmuirova sonda, vf planární sonda, optická emisní spektroskopie a aktinometrie. Kapacitně vázané výboje byly studovány ve válcovém depozičním reaktor a kulovém reaktoru určeném k diagnostice plazmatu. Oba reaktory byly tvořeny rovnoběžnými elektrodami. Výboj s induktivní vazbou byl pozorován ve vf helikónovém reaktoru. Koncentrace elektronů byla měřena ve středu difúzní komory vf helikonového reaktoru v argonovém a kyslíkovém výboji s induktivní a kapacitní vazbou pomocí Langmuirovy sondy. Koncentrace elektronů rostla s dodávaným výkonem do výboje jen v případě kapacitní vazby. V induktivně vázaném výboji vykazuje maximální hodnoty, saturaci nebo dokonce pokles s dodávaným v