Studování povrchu mechanickým profilometrem
Předložená práce se zabývá studiem povrchů mechanickým profilometrem. Profilometr je přístroj, který hrotem snímá tvar a nerovnosti povrchu v řádu nanometrů. Přístroj jsme použili pro změření profilů struktur rezistorů vyleptaných do hliníkových vrstev deponovaných na křemíkové desky, za účelem zjiš...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2010
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/269329/prif_b/ |
| Shrnutí: | Předložená práce se zabývá studiem povrchů mechanickým profilometrem. Profilometr je přístroj, který hrotem snímá tvar a nerovnosti povrchu v řádu nanometrů. Přístroj jsme použili pro změření profilů struktur rezistorů vyleptaných do hliníkových vrstev deponovaných na křemíkové desky, za účelem zjištění tloušťky deponované vrstvy. To nám umožnilo experimentálně určit hodnotu rezistivity pro AlCuSi metalizaci. This work deals with study of surfaces by mechanical profilometer. Profilometer is a device, which scans shape and roughness (irregularities) of surfaces in scale of nanometers. We used this device to measure profiles of resistor structures etched into aluminium layers deposited on silicon wafers with objective of detecting the thickness of deposited layer. This allows us to define value of resistivity for AlCuSi metallization experimentaly. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Petr Mikulík |
| Fyzický popis: | 51 l. : barev. fot. |