Kinetika katodoluminiscence scintilátorů a rezistů pro přístroje s elektronovým svazkem - Bok, Jan, 1983- (2010)
Obsahem práce je studium kinetiky katodoluminiscence scintilátorů YAG, YAP a YSO aktivovaným ionty ceru pro použití v Everhartově-Thornleyho detektoru pro rastrovací elektronový mikroskop. Práce se také zabývá měřením kinetiky katodoluminiscence polysilanů PMPSi vhodných k možnému využití v elektronové litografii jako polymerových rezistů. Dalším úkolem práce bylo vytvořit vhodnou metodu pro měření rychlých časů doznívání při nízkém světelném zisku. Byla využita unikátní katodoluminiscenční aparatura na ÚPT AV ČR, která byla v rámci práce modernizována a kalibrována. Rovněž byl naprogramován ovládací software pro řízení a automatizaci katodoluminiscenčních experimentů. Z výsledků měření scintilátorů YAG:Ce a YAP:Ce vyplývá jejich vhodnost pro využití v rastrovacích elektronových mikroskopech. Dosvit uvedených scintilátorů je však silně závislý na délce excitace a je potřeba tomuto faktu rastrovací mód mikroskopu podřídit. Pomocí závislosti doby doznívání na šířce excitačního pulsu lze