Advanced ellipsometric techniques and studies of low-k dielectric films
Disertace pokrývá dvě blízká témata: elipsometrickou metodologii a studium tenkých dielektrických vrstev. Tato práce zahrnovala i rekonstrukci elipsometru a vývoj potřebného softwaru pro zpracování a analýzu dat. V první části zopakujeme nezbytné teoretické základy a popíšeme základní elipsometrické...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Další autoři: | |
Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
Jazyk: | Angličtina |
Vydáno: |
2009.
|
Témata: | |
On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/13477/prif_d/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
---|---|---|---|---|---|---|
Dostupné Prezenční |
Přírodovědecká fakulta | ÚK volný výběr | K-F-2009-MARŠ | 3145347611 |