Advanced ellipsometric techniques and studies of low-k dielectric films - Maršík, Přemysl (2009)
Disertace pokrývá dvě blízká témata: elipsometrickou metodologii a studium tenkých dielektrických vrstev. Tato práce zahrnovala i rekonstrukci elipsometru a vývoj potřebného softwaru pro zpracování a analýzu dat. V první části zopakujeme nezbytné teoretické základy a popíšeme základní elipsometrické konfigurace. Věnujeme se dvěma elipsometrickým konfiguracím: elipsometrii s rotačním analyzátorem (RAE) a s rotačním kompenzátorem (RCE). V případě RAE je vyvinuta kalibrační procedura pro neznámé nulové polohy polarizátoru a analyzátoru. V případě RCE jsou zformulovány elegantní rovnice pro redukci dat a navržen algoritmus pro kalibraci nulových poloh polarizátoru, analyzátoru a kompenzátoru. V měřených datech byly objeveny nežádoucí artefakty způsobené nedokonalostí kompenzátoru. Možný zdroj těchto artefaktů je diskutován a interpretace je podpořena simulacemi. Nakonec je zkoumán vliv artefaktů na kalibraci a zpracování dat a je navržen možný způsob ošetření výsledků. Druhá část práce je .