Optická diagnostika poruch v křemíku - Štoudek, Richard (2008)
Disertační práce se zabývá optickou diagnostikou poruch v mříži křemíku. Monokrystalický Si stále zůstává nejpoužívanějším materiálem polovodičového průmyslu. Naším cílem bylo pomocí infračervené absorpční spektroskopie studovat jednak některé bodové defekty (intersticiální kyslík, substituční uhlík, dusík) v Czochralskiho i zonálním křemíku, ale i nebodové poruchy, které vznikají žíháním pouze v Czochralskiho křemíku (termodonory, kyslíkové precipitáty). Měření propustnosti křemíkových desek ve středním infračerveném oboru při teplotě kapalného dusíku zvyšuje citlivost metody stanovení koncentrace intersticiálního kyslíku i substitučního uhlíku oproti měření při pokojové teplotě. Toho lze s výhodou využít zejména u zonálního křemíku, který obvykle obsahuje velmi malé koncentrace příměsových atomů. V případě žíhaných vzorků Czochralskiho křemíku jsme mohli díky nízkoteplotním měřením rozlišit absorpční pásy intersticiálního kyslíku a kyslíkových precipitátů. Takto získaná absorpční s.