Studium mikrodefektů v křemíkových deskách difúzním rozptylem rtg záření - Valeš, Václav, 1936- (2008)
Defekty v křemíku jsou vzhledem k jeho významu jako polovodičového materiálu stále předmětem intenzivního studia. V mé diplomové práci byla k tomuto studiu použita metoda rentgenové difrakce. Přítomnost defektů v krystalu dává vzniknout nekoherentnímu difúznímu záření, jehož intenzita je úměrná hustotě defektů. Pro zjištění hustoty je však nutné intenzitu difúzně rozptýlenou od defektů normovat; v této práci bylo použito srovnání s intenzitou termálního difúzního rozptylu. Nejprve byly nasimulovány průběhy intenzity difúzního rozptylu v okolí vhodného uzlového bodu reciproké mříže. Na naměřených scanech ve směru q_x od difrakčního maxima byly identifikovány části příslušející jednotlivým typům difúzního rozptylu (rozptyl na defektech a termální difúzní rozptyl) a bylo tak možné určit hustotu defektů, která byla srovnána s hustotou z převzatého měření leptových důlků. Dále byl vysvětlen neočekávaný tvar poklesu intenzity termálního difúzního rozptylu.