Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií
Tato práce se věnuje studiu reaktivního magnetronového naprašování pomocí optické emisní spektroskopie. V první části jsou vyloženy základní fyzikální principy naprašování a základní metody diagnostiky plazmatu včetně optické emisní spektroskopie. Dále je popsán Bergův model. Výsledky sestaveného pr...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Další autoři: | |
Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
Jazyk: | Čeština |
Vydáno: |
2007.
|
Témata: | |
On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/151253/prif_b/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
---|---|---|---|---|---|---|
Dostupné Prezenční |
Přírodovědecká fakulta | ÚK volný výběr | K-F-2007-HYTK |
Vyžádejte u knihovníka studovny Matematiky. |
3145340708 |