Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií - Schmidtová, Tereza, 1985- (2007)
Tato práce se věnuje studiu reaktivního magnetronového naprašování pomocí optické emisní spektroskopie. V první části jsou vyloženy základní fyzikální principy naprašování a základní metody diagnostiky plazmatu včetně optické emisní spektroskopie. Dále je popsán Bergův model. Výsledky sestaveného programu jsou diskutovány. Byl studován efekt vybraných parametrů na hysterezní jev. Je popsán způsob měření hystereze. Byly určeny optimální pracovní podmínky pro měření.