Popis: Využití objemového bariérového výboje pro depozici tenkých ochranných vrstev

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Čech, Jan, 1982 listopad 27.- (Autor práce)
Typ dokumentu:	VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:	Čeština
Vydáno:	2004
Témata:	depozice tenkých vrstev fyzika plazmatu plazma (fyzika) tenké vrstvy plasma (ionized gases) plasma physics thin film deposition thin films bakalářské práce bachelor's theses

Popis
Fyzický popis:	50 l.