Ion implantation in semiconductors and other materials /
Uloženo v:
| Další autoři: | |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
New York :
Plenum Press,
c1973.
|
| Edice: | IBM research symposia series
|
| Témata: |
| Fyzický popis: | xii, 657 s. |
|---|---|
| Bibliografie: | Bibliografie u jednotlivých příspěvků. |
| ISBN: | 0-306-30756-1 |