Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Další autoři: Anders, André (Editor)
Typ dokumentu: Kniha
Jazyk:Angličtina
Vydáno: New York : John Wiley & Sons, c2000.
Témata:
Popis
Fyzický popis:xxiii, 736 s.
ISBN:0-471-24698-0